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漢鐘真空泵專欄
avril
 
PS系列
所屬類別: 漢鐘真空泵專欄
型號:
推薦度:
查看次數:           日期: 2011-04-17
價格: 面議¥
  詳細介紹:
PS系列
抽氣速率:80~180m3/h
極限真空:≤1Pa

干式真空泵

應用領域:半導體,光電,LED,TFT,制藥,化工,太陽能,真空鍍膜,熱處理等。

PS系列技術參數表

機型
單位
PS80
PS160
PS180
PS602
PS902
PS1302
PS1802
抽氣速率
50Hz/60Hz
 
L/min
1300/1600
2150/2600
2500/3000
8300/10000
12500/15000
18000/21600
25000/30000
m3/h
80/96
130/156
150/180
500/600
750/900
1080/1300
1500/1800
cmf
48/57
77/92
88/105
294/353
441/530
580/770
875/1050
極限真空
Torr
7.5*10-3
7.5*10-4
mbar
1*10-2
1*10-3
 
Pa
1
0.1
馬達
頻率
Hz
50/60
電壓
V
220~440
功率
Hp
4
6
4+4
6+4
6+6
kw
2.98
4.47
2.98+2.98
4.47+2.98
4.47+4.47
連接
進氣
 
NW50
ISO100
ISO160
排氣
 
NW40
NW40
NW40
 
流量
L/min
3~7
冷卻水
壓力
kg/cm2
2.0~4
 
溫度
oC
18~30
 
接頭
 
RC3/8′′
 
壓力
kg/cm2
0.5~1
氮氣
稀釋流量
L/min
0~60
 
密封流量
L/min
0~20
 
連接
 
Swagelok1/4′′
尺寸L*W*H
mm3
814*380*663
895*405*678
920*425*650
814*380*887
895*405*943
920*425*957
920*425*1047
重量
kg
280
300
320
450
520
540
545
噪音
dB(A)
68
70
控制界面
 
SEMI E73-0299
真空泵最大漏率
mbar.l/s
1*10-5
室溫操作范圍
oC
5 oC ~40 oC
最大操作濕度
RH
90%

特色

  • 螺旋真空泵浦產品特色

  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

  • 泵浦溫度控制精準

  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦的壽命。

  • 密封馬達安全性高

  PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免制程氣體外漏的風險。

  • 微電腦控制保護周全

  PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。

 

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