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漢鐘真空泵專欄
avril
 
PS630與PS3002真空泵
所屬類別: 漢鐘真空泵專欄
型號:
推薦度:
查看次數:           日期: 2012-06-18
價格: 面議¥
  詳細介紹:
機型Model
單位Unit
PS630
PS3002
抽氣速度
Pumping Speed
(50Hz/60Hz)
l/min
8333 / 10000
41500 / 50000
m3/hr
500 / 600
2500 / 3000
cfm
295 / 353
1470 / 1765
終極壓力
Ultimate Pressure
Torr
≦7.5×10-3
≦7.5×10-4
mbar
≦1×10-2
≦1×10-3
Pa
≦1
≦0.1
氣冷馬達
Fan-cooled Motor
頻率Frequency
Hz
50/60
50/60
電壓Voltage
V
220/380±5%(3Phase)
220/380±5%(3Phase)
額定功率
Rated Power
 hp
30
30+15
kW
22
22+11
連接
Connection
進氣口Inlet
 
ISO100
ISO200
排氣口Outlet
 
ISO63
ISO63
冷卻水
Cooling
Water
最低流量Min. Flow
l/min
6
6
最高壓力       Max. Pressure
kg/cm2
4
4
壓力差Pressure Dif.
kg/cm2
1
1
溫度Temp.
°C
18~20
18~20
接頭Connection
 
RC 3/8"
RC 3/8"
氮氣
N2
壓力Purge Pressure
MPa
0.05~0.2
0.05~0.2
流量Purge Flow
slm
130~150
130~150
接頭Connection
 
Swagelok 3/8"
Swagelok 3/8"
尺寸Dim.                                 
長×寬×高L×W×H
mm
1831×610×735
2030×695×1376
重量Weight
kg
1050
1910
噪音Noise
dB(A)
95(無外罩)
80(外罩)
控制介面Control
 
SEMI E73-0299
SEMI E73-0299
系統最大漏率
System Max. Leak-rate
mbar.l/s
1×10-5
1×10-5
室溫操作範圍Operation Temp.
5℃~40℃
5℃~40℃
操作溼度Operation Moisture
RH
90%以下
90%以下
潤滑油
Lubrication Oil
商標Brand
 
Krytox VPF 1525
Fomblin Y LVAC 25/6
Krytox VPF 1525
Fomblin Y LVAC 25/6
用量Quantity
L
3(1.3+1.7)
3+2.5(1.5+1)
 
 

特色

  • 螺旋真空泵浦產品特色

  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

  • 泵浦溫度控制精準

  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦的壽命。

  • 密封馬達安全性高

  PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免制程氣體外漏的風險。

  • 微電腦控制保護周全

  PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。 

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