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漢鐘真空泵專欄
avril
 
漢鐘PSE400
所屬類別: 漢鐘真空泵專欄
型號: 臺灣漢鐘PSE400真空泵
推薦度:
查看次數:           日期: 2012-06-18
價格: 面議¥
  詳細介紹:

 

特色

  • 螺旋真空泵浦產品特色

  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

  • 泵浦溫度控制精準

  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦的壽命。

  • 密封馬達安全性高

  PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免制程氣體外漏的風險。

  • 微電腦控制保護周全

  PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。

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